泰克6430亞FA程控源表

6430亞fA程控源表集合了吉時利源表 和源測量單元（SMU）產品的電壓源和電流 源及測量功能，比靜電計靈敏度更高，噪 聲更低，輸入阻抗更高。這種*的性能 是通過6430遠端前置放大器實現的，它提 供非常靈敏的雙向放大器，用于測量或產 生被測試器件的電流。遠端前置放大器輸 出的高電平信號通過一條2米長的線纜發 送到控制主機上。這使得用戶可以直接， 或者近距離連接該信號，減少線纜噪聲 的影響。

主要特點:

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
• 遠端前置放大器可以位于信號源處以減少線纜噪聲
• 電壓測量的輸入阻抗>1016Ω
• 高速——達2000讀數/秒
• 分辨率達6位半
• 快速元件特性分析，帶可編程數字I/O和接口

6430按照靜電計無法達到的速度測量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測量讀數，讀入內部存儲器中。 可以測量快速小電流，100nA量程可響應 短至5ms的信號，較大量程可響應幾百微 秒的信號。

6430的*特點包括其優秀的低電 流靈敏度和遠端前置放大器，這通過避 免長輸入線纜發揮了靈敏度的作用。遠 端前置放大器是6430反饋測量系統的主 要部分，雖然通過長達2米，帶載高電平 信號的連接線纜它能離開主機一段距離 但是它不能獨立于測量主機工作。

應用

6430的功能使其同樣適于在測試實 驗室的研究工作和復雜元件的評估，結 合其它源測量儀器或SMU用于在較高電平 上進行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導體測量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。

高速數據處理

6430能以超過2000個讀數/秒的速度 讀至其內存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發送達75個源/測量讀數至外部計算 機控制器，包括通過/失效指示。

6430能提供達2.2W的4象限源， 以及低至亞fA和微伏電平的測量 靈敏度。在高達20V，它能測量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流。可提供200mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設置定義了源或阱電壓或電流的 大值。

典型應用：

半導體測量

基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會在 MOSFET、FET、模擬開關和許 多其它電路中產生誤差。通 過允許研究人員測量極低電 平的電流和電壓，6430能幫 助他們了解這些元件的設計 局限以及研究替代器件的結 構或材料。

測量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有的優秀低電流測量能力（<0.4fA峰峰值）使其對于單電子晶體管 （SET）和量子點研究非常有用。使用類似于鎖定的技術，6430能以1aA靈敏度測量 電流（10–18A=6電子/秒）。

測量行業的低噪聲和漂移

下圖的數據表明6430在5小時期間內穩定性非常突出，而且短期的低噪聲性能 優秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時間在1pA量程上實現微弱信號采集。插 圖中的細節是濾波信號的截圖，顯示了6430型在開始的100秒期間的低噪聲性能 （僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實驗室環境下提取數據，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護罩。

泰克6430亞FA程控源表

濃縮的測量指標1

電壓測量準確度（4線感測）3

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。附加的測量指標

附加的測量指標

輸出建立時間（典型值為終值的10%）：<2s，1pA和10pA量程；<50ms，100pA 至10nA量程；<5ms，100nA至100mA量程。
電流噪聲：在1分鐘間隔觀察時，90%的間隔中峰峰值噪聲在400aA以內， 在使用Autofilter（5s 10% -90%的上升時間），使用三同軸連接器防護 罩，Autozero OFF、Source Delay=0，使用1pA量程至少3分鐘的條件下。

電流測量準確度（2線或4線感測）4

溫度系數（0°C-18°C & 28°C-40°C）：±[（0.15×規定的準確度）+1fA]/°C。
輸入電流：<3fA@23°C，<40%相對濕度；通常為±0.5fA/°C在23°C左右，<40% 相對濕度。

電阻測量準確度（4線感測帶遠端前置放大器）

輸出電流模式，自動電阻

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
輸出電流模式，手動電阻：不確定度總和=電流輸出準確度+電壓測量準確度 （四線測量）。
輸出電壓模式：不確定度總和=電壓輸出準確度+電流測量準確度（四線測 量）。
6線電阻模式：可使用有源電阻防護和防護檢測（僅主機后面板）。防護輸出 電流大值：50mA。準確度取決于負載。查閱手冊獲取計算公式。
主機防護輸出電阻：0.1Ω，電阻模式。

注解：

1.速度=10PLC，Autofilter ON，正確歸零和穩定。
2.輸出電流模式，I=0。
3.電壓測量準確度不受遠端前置放大器的影響。
4.電流測量準確度不受遠端前置放大器影響；然而，1pA~100nA量程僅當 使用前置放大器時可用。
5.四線模式。
6.僅手動電阻模式。
7.激活源回讀，失調補償開。源時延必須設置為使源*穩定才能讀數。

濃縮的系統速度

測量1

量程變化速度的大值：75/s。
單讀數工作模式的讀速度（讀數/秒），在60Hz（50Hz）條件下：

濃縮的源指標4

電壓設置準確度（4線感測）5

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±21V@±105mA，±210V@±10.5mA。
電壓調整率：線路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%+100μV。
噪聲10Hz~1MHz（峰峰值）：10mV。
過壓保護：用戶可選擇，5%公差。工廠缺省為None。
電流鉗制：雙極性電流極限（容限）設為一個值。量程的0.1%（小值）。

電流設置準確度（帶遠端前置放大器）

溫度系數（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。
大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±10.5mA@±210V，±105mA@±21V。
電流調整率：線路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%+1fA。
電壓極限：雙極性電壓極限（容限）設為一個值。量程的0.1%（小值）。

注解：

1.讀數速率可用于電壓或電流測量。關閉自穩零，關閉自動量程，關 閉濾波器，關閉顯示，觸發延時=0，源自動清空，并且采用二進制讀 數格式。
2.采用上限和數學下限進行通過/失效測試。
3.包含測量之前重新設置源至新電平的時間。
4.對于阱模式，1pA~100mA量程，準確度是±(0.15%+偏移*4)。
5.電壓源準確度不受遠端前置放大器的影響。

綜合說明

負載阻抗：穩定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量 程，以及100pF在nA和pA量程。查閱用戶手冊獲取大電容性負載測量的 詳細說明。
共模電壓：±42VDC大值。
共模隔離：>109Ω，<1000pF。
過量程：量程的105%，源和測量。
輸入/輸出與測量端子之間的大壓降：5V。（為滿足規定的準確度用4線測 量，請參閱用戶手冊。）
測試線電阻大值：10Ω，對于額定準確度。
測試輸入電阻：1MΩ。
主機防護偏置電壓：300μV，典型值。
前置放大器防護偏置電壓：1mV典型值。
前置放大器防護輸出電阻：110kΩ。
源輸出模式：固定直流電平，內存列表（混合功能），階梯波掃描（線性和 對數）。
源內存列表：100點（大值）。
內存緩沖區：5,000個讀數/秒@5位半（2個2,500點緩沖區）。包括所選的測 量值和時間戳。鋰電池備份（電池壽命超過3年）。
數字接口：
安全互鎖：有源低電平輸入：
處理程序接口：測試開始，測試結束，3類比特。+5V@300mA電源。
數字I/O：1觸發輸入、4 TTL/繼電器驅動輸出（33V@500mA阱、二極管鉗 位）。
可編程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5種用戶定義的上電狀態加上 出廠缺省設置和*RST。
電源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上電時自動檢測），100VA大值。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，FCC第15部分Class B。
安全性：符合歐盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振動：MIL-PRF-28800F，Class 3。
預熱時間：1小時達到額定準確度。
規格：89mm高×213mm寬×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。
測試臺尺寸配置（帶手柄和支腳）：104mm高×238mm寬×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。
放大器：20mm高×57mm寬×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。
重量：5.9公斤（13磅）。
工作環境：工作條件：0°~40°C，60%相對濕度（不凝結）至35°C。在 35°~40°C范圍內，相對濕度降低5%/°C。存儲條件：–25°C~65°C，不凝 結的濕度。